1 清华大学机械工程系先进成形制造教育部重点试验室, 北京 100084
2 Department of Mechatronics and Mechanical Engineering, University of Waterloo, Canada, N2L 3G1
微孔加工是微器件加工中的重要环节，飞秒激光的强烈非线性吸收和“冷加工”特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料，研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明，飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响。随着激光能量和打孔速度的增加，微孔深径比均呈现减小趋势。通过选择适当参数，可以获得深径比大于25∶1 且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔。为了获得更好的聚焦效果，采用倍频晶体BBO 获得了400 nm 波长的飞秒激光。用相同聚焦透镜时400 nm 飞秒激光加工的微孔比800 nm 更小。此外，也对飞秒激光微孔加工中常见的缺陷进行了分析。
超快光学 飞秒激光 微孔加工 石英玻璃 倍频
